所屬分類:壓電掃描臺(tái)
瀏覽次數(shù):1082 次
服務(wù)熱線:0451-58603067
聯(lián)系電話:李冰 18804505564 (微信同號(hào))
T62系列壓電物鏡定位器是為大負(fù)載物鏡Z軸運(yùn)動(dòng)而設(shè)計(jì)的,它的負(fù)載可達(dá)500g,Z軸行程范圍可達(dá)110μm,柔性鉸鏈導(dǎo)向無需維護(hù)、無摩擦、無磨損,無需潤滑。它們的剛性可實(shí)現(xiàn)高負(fù)載能力,且它們對沖擊和振動(dòng)不敏感。它百分百真空兼容,可在很廣的溫度范圍內(nèi)工作。
T62壓電物鏡定位器具有優(yōu)異的導(dǎo)向精度及高動(dòng)態(tài)特性,它在多光子顯微、共聚焦顯微、晶圓切割、聚焦定位應(yīng)用比較廣泛??善ヅ洳趟尽⒛峥?、奧林巴斯、徠卡等多種標(biāo)準(zhǔn)鏡頭,鏡頭螺紋可更換,使用非常方便;
典型應(yīng)用領(lǐng)域:
晶圓切割
共焦顯微
干涉/計(jì)量
自動(dòng)聚焦系統(tǒng)
半導(dǎo)體測試
產(chǎn)品參數(shù)表:
實(shí)物參考圖
T62產(chǎn)品尺寸圖: