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T62 系列壓電物鏡定位器

所屬分類:壓電掃描臺(tái)
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  • 技術(shù)參數(shù)
  • 外形尺寸

  T62系列壓電物鏡定位器是為大負(fù)載物鏡Z軸運(yùn)動(dòng)而設(shè)計(jì)的,它的負(fù)載可達(dá)500g,Z軸行程范圍可達(dá)110μm,柔性鉸鏈導(dǎo)向無需維護(hù)、無摩擦、無磨損,無需潤滑。它們的剛性可實(shí)現(xiàn)高負(fù)載能力,且它們對沖擊和振動(dòng)不敏感。它百分百真空兼容,可在很廣的溫度范圍內(nèi)工作。

  T62壓電物鏡定位器具有優(yōu)異的導(dǎo)向精度及高動(dòng)態(tài)特性,它在多光子顯微、共聚焦顯微、晶圓切割、聚焦定位應(yīng)用比較廣泛??善ヅ洳趟尽⒛峥?、奧林巴斯、徠卡等多種標(biāo)準(zhǔn)鏡頭,鏡頭螺紋可更換,使用非常方便;

  典型應(yīng)用領(lǐng)域:

  晶圓切割

  共焦顯微

  干涉/計(jì)量

  自動(dòng)聚焦系統(tǒng)

  半導(dǎo)體測試

  產(chǎn)品參數(shù)表:

參數(shù)表.jpg

1.jpg

實(shí)物參考圖

  T62產(chǎn)品尺寸圖:

T62產(chǎn)品尺寸圖.jpg

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