T62系列壓電物鏡定位器是為大負(fù)載物鏡Z軸運(yùn)動(dòng)而設(shè)計(jì)的，它的負(fù)載可達(dá)500g，Z軸行程范圍可達(dá)110μm，柔性鉸鏈導(dǎo)向無需維護(hù)、無摩擦、無磨損，無需潤滑。它們的剛性可實(shí)現(xiàn)高負(fù)載能力，且它們對沖擊和振動(dòng)不敏感。它百分百真空兼容，可在很廣的溫度范圍內(nèi)工作。

　　T62壓電物鏡定位器具有優(yōu)異的導(dǎo)向精度及高動(dòng)態(tài)特性，它在多光子顯微、共聚焦顯微、晶圓切割、聚焦定位應(yīng)用比較廣泛?？善ヅ洳趟尽⒛峥?、奧林巴斯、徠卡等多種標(biāo)準(zhǔn)鏡頭，鏡頭螺紋可更換，使用非常方便；

　　典型應(yīng)用領(lǐng)域：

　　晶圓切割

　　共焦顯微

　　干涉/計(jì)量

　　自動(dòng)聚焦系統(tǒng)

　　半導(dǎo)體測試

　　產(chǎn)品參數(shù)表：

實(shí)物參考圖

　　T62產(chǎn)品尺寸圖：