所屬分類:壓電掃描臺(tái)
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T32系列壓電掃描臺(tái)內(nèi)部采用機(jī)構(gòu)放大設(shè)計(jì)原理,它的外形尺寸僅為54×54×24mm。具有零摩擦、超高導(dǎo)向精度、納米級(jí)分辨率及超高的定位精度等優(yōu)點(diǎn)。T32系列壓電掃描臺(tái)內(nèi)置高可靠性表面絕緣壓電陶瓷,確保了掃描臺(tái)的可靠性與穩(wěn)定性。同時(shí)外形及中孔尺寸支持定制,如果有特殊定制需求請(qǐng)致電銷售工程師即可;
典型應(yīng)用領(lǐng)域:
干涉掃描
聚焦顯微
表面測(cè)量
圖像處理與穩(wěn)定
晶圓定位
產(chǎn)品參數(shù)表:
實(shí)物參考圖
T32系列產(chǎn)品尺寸圖: