T31.Z150壓電掃描臺是專門為大負(fù)載、大位移客戶提供的一款掃描臺；它的負(fù)載重量可達4.5Kg,位移量可達150μm；可以作為Z向升降聚焦掃描對準(zhǔn)的自動化移動平臺；可用于顯微鏡對焦、光干涉、生物分析、光學(xué)調(diào)整等應(yīng)用；

　　產(chǎn)品特點：

　　最大位移150μm

　　最大承載4.5kg

　　中心通孔φ25~φ50mm

　　閉環(huán)重復(fù)定位精度

　　開/閉環(huán)可選

　　典型應(yīng)用領(lǐng)域：

　　1、掃描顯微

　　2、共焦顯微

　　3、晶圓定位

　　4、表面測量圖像處理與穩(wěn)定

　　5、半導(dǎo)體測試

　　6、樣品掃描分析定位

實物參考圖

　　T31.Z150產(chǎn)品尺寸圖：