所屬分類:壓電掃描臺(tái)
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T33.XY100壓電掃描臺(tái)具有超薄的尺寸、超小的體積、超大的行程范圍、超高的位移精度。非常適合應(yīng)用于二維掃描及二維精準(zhǔn)定位的應(yīng)用中;
典型應(yīng)用領(lǐng)域:
干涉掃描
聚焦顯微
表面測(cè)量
圖像處理與穩(wěn)定
晶圓定位
產(chǎn)品參數(shù)表:
實(shí)物參考圖
T33.XY100S/k產(chǎn)品尺寸圖: